728x90 0.SEMICONDUCTOR/1. MOSFET Structure2 FINFET Process 및 Structure 소개 FINFET은 말그대로 Fin을 둘러싼 GATE를 가진 Field Effect Transistor 입니다. 이중 또는 다중 게이트 구조를 형성하는 Channel 사이에 Source/Drain 영역이 실리콘 표면에 Fin을 형성하기 때문에 이러한 장치에 "FinFET"라는 일반 이름이 지정되었습니다. FinFET 장치는 Planar CMOS (상보형 금속-산화물-반도체) 기술 보다 훨씬 더 빠른 switching time 과 더 높은 전류 밀도를 가지고 있습니다. FINFET이 상용화 된 것은 2015년이며 14nm Node를 최초로 적용하였습니다. FIN structure의 경우엔 pitch가 작기 때문에 한번에 patterning이 불가하여 Self-Align Double Patterning 공법을 이.. 2023. 4. 18. History of Transistor structure change this is a planar transistor lecture. Transitor History Transistor의 발명 이래로, 시장의 요구에 따라 계속 발전해 왔다. 고집적, 고효율, 고성능을 목표로 발전을 했으며 사용되는 영역은 군사 안보 분야를 넘어 일반인의 실생활에도 사용되게 되었다. 현재에 이르러서는 양산중인 반도체는 planar transistor와 finfet transistor, Gate All Around transistor가 있다. planar FET TR의 경우 GATE 한 면으로 E-field를 제어하기 때문에 미세한 컨트롤이 어렵고 전력소모도 심한 편이다. 하지만 finfet TR의 경우엔 GATE 3면으로 E-field를 제어하기 때문에 미세 조정이 가능하고 전력소모도 적다.. 2023. 1. 20. 이전 1 다음 728x90
