728x90 3. OPTICAL PROXIMITY CORRECTION TECH/0.OPC IMAGING THEORY13 FORBIDDEN PITCH SOLUTION Lithography에서 forbidden pitch란 특정 조명계에서 특정 pitch의 영향성으로 poor Image quality가 나타나는 현상이 생기는 pitch 영역대를 말합니다. 그 영역대는 대략 Resolution pitch의 1.6~1.9x 정도되며 이 영역에서는 1st order와 2nd order의 간섭이 발생하여 contrast가 불량해지기 때문에 Image quality가 안좋습니다. forbidden pitch 영향성은 sigma out쪽에 pole이 많이 분포하는 조명계에서 많이 보입니다. Conventional illumination보단 Dipole illumination 에서 forbidden pitch 영향성이 잘보입니다. 아래 그래프처럼 Conventional il.. 2023. 8. 28. Partial Coherence (부분 가간섭도) * Coherence 정의와 종류 coherence는 우리나라 말로 결맞음(일관성)이라고 부르며, 두 파동이 간섭할 가능성을 말합니다. 간섭이 되면 두 개의 파동이 합쳐져 더 큰 진폭의 파동(보강간섭)이 되거나, 서로 상쇄되어 파동이 없어질 수 있습니다.(상쇄간섭) coherence가 없으면 파동은 서로 간섭하지 않습니다. 빛에는 시간적 결맞음과 공간적 결맞음, 부분적 결맞음의 종류가 있습니다. coherent ligth으로는 laser가 있고, incoherent light으로는 자연광(햇빛)이 있습니다. 1) Temperal Coherence : 시간적 결맞음(일관성)은 시간의 흐름에 따라 wave length가 얼마나 균일하게 유지되는지를 나타냅니다. 즉, 시간에 따라 주파수가 얼마나 일정한지를 보.. 2023. 7. 12. Polarization 편광의 영향성 Polarization 편광은 전자기파가 진행할 때 파를 구성하는 전기장이나 자기장이 특정한 방향으로 진동하는 현상을 말합니다. 일반적인 의미의 전자기파는 모든 방향으로 진동하는 빛이 혼합된 상태를 말하지만, 특정한 광물질이나 광학필터를 사용해 편광 된 상태의 빛을 얻을 수 있습니다. 노광 설비에서 NA가 커질수록 image에 미치는 편광 효과가 커지게 됩니다. 이 편광 효과로 인해서 patterning quality가 달라질 수 있습니다. TE mode는 pattern의 방향과 입사하는 빛의 편광 방향이 평행한 방향으로 입사한 빛의 전기장의 방향이 일치하기 때문에 pattern fideltiy가 좋아집니다. 그러나, TM mode의 경우 pattern의 방향과 입사하는 빛의 방향이 수직이기 때문에 입사.. 2023. 7. 11. Resolution & DOF 반도체 기술이 발전함에 따라 chip scaling은 점점 줄어들게 되었습니다. 같은 공정 단가에 chip size를 줄이게 되면 더 많은 chip을 생산할 수 있게 되고 수율 측면에서도 이득이 있기 때문입니다. 그러다 보니 chip 내 들어가는 pattern size도 같이 줄어들게 되었습니다. 그래서 반도체에서는 최대한 작게 만드는 것이 효율적인 생산을 할 수 있습니다. 상기 표를 보시면 시간이 흐름에 따라 노광 설비에 대한 발전이 이뤄지고 그에 따라 chip에 존재하는 가장 작은 size의 pattern 인 Resolution pattern size도 함께 줄어들었습니다. 여기서 흥미로운 점은 Flash, DRAM, Logic 제품군 간에 Resolution pattern size의 shrink 되.. 2023. 7. 6. NILS & MEEF Normalized Image Log Slope (NILS) is a metric used to evaluate the image quality of lithographic masks, which are used in semiconductor manufacturing to transfer circuit patterns onto silicon wafers. NILS is a measure of the contrast of an aerial image of a mask pattern, which is the image of the pattern that is formed in the air above the mask when it is illuminated by light. It is calculated a.. 2023. 4. 18. Kohler system The Kohler illumination system is a technique used in microscopy to provide even, uniform illumination of the specimen being viewed. This system is named after August Kohler, a German microscopist who first described it in 1893. In a Kohler illumination system, a bright, uniform light source is focused onto the aperture diaphragm of the microscope, which is placed in the intermediate image plane.. 2023. 4. 13. Hopkins Equation what is Hopkins Equation? The Hopkins equation is a mathematical expression used in the field of optics to calculate the resolving power, or spatial resolution, of an optical system such as a microscope or telescope. The equation is named after its developer, British physicist and inventor Frederick Hopkins, who proposed it in 1953. The Hopkins equation is given by: R = 0.61 * λ / (NAobj + NAcon.. 2023. 4. 13. TCC (Transimission Cross-Coefficient) What is TCC? Hopkins equation method는 point source에 대한 회절 정보를 가지고 있으며 한번만 계산해두면 Mask 정보가 바뀌어도 새롭게 Source 및 Pupil에 대한 정보를 계산할 필요가 없는 방식입니다. 이는 미리 TCC를 만들어두고 계속 사용하는 방식입니다. 효율성 측면에선 OPC에 적합합니다 TCC가 계산되어 있으면 Aerial image에 대해서 쉽게 계산이 가능합니다. Transmission cross-coefficient is a term used in the field of optics to describe the amount of light that passes through an optical system. Specifically, it refe.. 2023. 4. 13. SOCS (Sum Of Coherent System) Sum of Coherent System, 일명 SOCS라고도 불리는 이 방식은 partially coherent iamge를 더 효과적이며 빠르게 계산할 수 있게 하는 방법론 입니다. TCC를 이용하여 hopkins image equation 구성하면 이 식은 모든 source에 관련된 계산은 이미 TCC matrix를 계산할 때 수행되었기 때문에 Abbe equation보다는 효과적입니다. 예를 들어 source의 point가 1000개라면 Abbe equation을 따를 경우 muliti point로 coherent image를 1000번 계산을 해서 모두 합해줘야 하지만, Hopkins equation을 할 경우엔 point source로 보고 한번 TCC를 계산해 놓으면 다시 반복 계산을 할 필.. 2023. 4. 13. Fourier Theorim Simple waves overlap to create complex waves. This is a phenomenon applicable to all waves, and actual waveforms such as seismic waves, sound waves, light, and radio waves are actually very complex, but simple waveforms can be analyzed as a basis. 1. Fourier Series 푸리에 급수는 열의 전달 방식에 대한 연구에서 발견되었다. "어떤 함수이든 다양한 sin 함수와 cos 함수를 무한히 더한 식으로 나타낼 수 있다 라는 발견이다. sin과 cos을 무한히 더한 식을 지금 푸리에 급수라고 부른다. 하기 예.. 2023. 1. 21. 이전 1 2 다음 728x90
