728x90 ret sraf1 SRAF RULE GENERATION SRAF은 RET 기술 중 하나로 Sub-Resolution Assit Feature의 약자 입니다. SRAF은 ISO 혹은 SEMI ISO pattern의 DOF margin을 향상해줍니다. Dense pattern보다 ISO pattern인 경우에 Depth of Focus margin이 부족한 경우가 있는데, ISO pattern을 Dense pattern과 유사한 환경으로 만들기 위해 Print 되지 않는 pattern을 photo mask에 삽입해줍니다.SRAF을 Main feature로 부터 적절하게 떨어진 위치에 적절한 SIZE의 SRAF을 추가하여 DENSE 환경과 같이 만들어 DOF 를 확보해줍니다. Pattern edge에는 회절로인한 side lobe가 생기는데 이로인해 pattern.. 2023. 8. 3. 이전 1 다음 728x90
