728x90 forbidden pitch solution1 FORBIDDEN PITCH SOLUTION Lithography에서 forbidden pitch란 특정 조명계에서 특정 pitch의 영향성으로 poor Image quality가 나타나는 현상이 생기는 pitch 영역대를 말합니다. 그 영역대는 대략 Resolution pitch의 1.6~1.9x 정도되며 이 영역에서는 1st order와 2nd order의 간섭이 발생하여 contrast가 불량해지기 때문에 Image quality가 안좋습니다. forbidden pitch 영향성은 sigma out쪽에 pole이 많이 분포하는 조명계에서 많이 보입니다. Conventional illumination보단 Dipole illumination 에서 forbidden pitch 영향성이 잘보입니다. 아래 그래프처럼 Conventional il.. 2023. 8. 28. 이전 1 다음 728x90
