728x90 2. FEOL MODULE PROCESS/0. ACTIVE MODULE1 FIN MODULE PROCESS FIN MODULE PROCESS는 FINFET process의 첫 단계로 FIN 모양의 Acitve를 만들어주는 Module step입니다. 기존 Planer FET에서 FIN 모양을 만들어주어 이를 감싸는 GATE에서 채널에 대한 control 능력이 높아지게 되어 short channel effect(누설전류)를 줄일 수있게 되며, carrier mobility를 개선되어 성능이 좋아지며 Vth 산포가 좋아집니다.FINFET은 지느러미 모양의 FIN을 제작해주는 것이 중요한데 기본적으로 Line & Space를 만들어줘야 하는데, Litho resolution 때문에 SADP(Self-Align Double Patterning) 공정을 이용하여 Global FIN을 생성해줍니다. 포토에서 Man.. 2023. 8. 5. 이전 1 다음 728x90
