728x90 전체 글65 FINFET Process 및 Structure 소개 FINFET은 말그대로 Fin을 둘러싼 GATE를 가진 Field Effect Transistor 입니다. 이중 또는 다중 게이트 구조를 형성하는 Channel 사이에 Source/Drain 영역이 실리콘 표면에 Fin을 형성하기 때문에 이러한 장치에 "FinFET"라는 일반 이름이 지정되었습니다. FinFET 장치는 Planar CMOS (상보형 금속-산화물-반도체) 기술 보다 훨씬 더 빠른 switching time 과 더 높은 전류 밀도를 가지고 있습니다. FINFET이 상용화 된 것은 2015년이며 14nm Node를 최초로 적용하였습니다. FIN structure의 경우엔 pitch가 작기 때문에 한번에 patterning이 불가하여 Self-Align Double Patterning 공법을 이.. 2023. 4. 18. Kohler system The Kohler illumination system is a technique used in microscopy to provide even, uniform illumination of the specimen being viewed. This system is named after August Kohler, a German microscopist who first described it in 1893. In a Kohler illumination system, a bright, uniform light source is focused onto the aperture diaphragm of the microscope, which is placed in the intermediate image plane.. 2023. 4. 13. Hopkins Equation what is Hopkins Equation? The Hopkins equation is a mathematical expression used in the field of optics to calculate the resolving power, or spatial resolution, of an optical system such as a microscope or telescope. The equation is named after its developer, British physicist and inventor Frederick Hopkins, who proposed it in 1953. The Hopkins equation is given by: R = 0.61 * λ / (NAobj + NAcon.. 2023. 4. 13. TCC (Transimission Cross-Coefficient) What is TCC? Hopkins equation method는 point source에 대한 회절 정보를 가지고 있으며 한번만 계산해두면 Mask 정보가 바뀌어도 새롭게 Source 및 Pupil에 대한 정보를 계산할 필요가 없는 방식입니다. 이는 미리 TCC를 만들어두고 계속 사용하는 방식입니다. 효율성 측면에선 OPC에 적합합니다 TCC가 계산되어 있으면 Aerial image에 대해서 쉽게 계산이 가능합니다. Transmission cross-coefficient is a term used in the field of optics to describe the amount of light that passes through an optical system. Specifically, it refe.. 2023. 4. 13. SOCS (Sum Of Coherent System) Sum of Coherent System, 일명 SOCS라고도 불리는 이 방식은 partially coherent iamge를 더 효과적이며 빠르게 계산할 수 있게 하는 방법론 입니다. TCC를 이용하여 hopkins image equation 구성하면 이 식은 모든 source에 관련된 계산은 이미 TCC matrix를 계산할 때 수행되었기 때문에 Abbe equation보다는 효과적입니다. 예를 들어 source의 point가 1000개라면 Abbe equation을 따를 경우 muliti point로 coherent image를 1000번 계산을 해서 모두 합해줘야 하지만, Hopkins equation을 할 경우엔 point source로 보고 한번 TCC를 계산해 놓으면 다시 반복 계산을 할 필.. 2023. 4. 13. Importance of DTCO DTCO stands for Design Technology Co-Optimization, which is a methodology used in semiconductor manufacturing to optimize the design of integrated circuits (ICs) along with the technology used to fabricate them. Traditionally, the design and technology aspects of IC development have been developed independently. However, as ICs become smaller and more complex, this approach has become increasing.. 2023. 4. 13. semiconductor scaling history Semiconductor history dates back to the early 19th century when the phenomenon of electricity was first discovered. In the early years, conductors such as metals were used for carrying electrical currents, but it wasn't until the early 20th century that the concept of semiconductors began to take shape. In 1904, the first semiconductor device, a crude semiconductor diode, was invented by John Am.. 2023. 4. 13. OPC work flow what is OPC? Optical Proximity Correction (OPC) is a process used in the semiconductor industry to improve the accuracy of photolithography in the manufacturing of integrated circuits. The OPC workflow typically involves the following steps:Layout Design: The first step is to create a layout design of the integrated circuit using computer-aided design (CAD) tools. Simulation: The layout design .. 2023. 4. 13. Source Mask Optimization flow SMO(소스 마스크 최적화)는 포토마스크에서 기판으로 패턴을 전사하는 프로세스를 최적화하기 위해 반도체 리소그래피에 사용되는 기술입니다. SMO의 목표는 소스와 마스크를 별도로 최적화하는 것이 아니라 동시에 최적화하여 패턴의 이미지 품질을 향상시키는 것입니다. 전통적인 리소그래피에서는 포토마스크와 조명 광원이 별도로 설계되었습니다. 마스크는 특정 패턴으로 설계되고 소스는 기판에 원하는 패턴을 생성하도록 최적화됩니다. 그러나 이 접근 방식은 마스크와 소스 설계의 한계로 인해 항상 원하는 결과를 얻지 못할 수도 있습니다. SMO에서는 마스크와 소스가 함께 최적화되어 최상의 이미지를 생성합니다. 이는 원하는 패턴을 얻을 때까지 마스크와 소스 매개변수를 반복적으로 수정하여 수행됩니다. 마스크 및 소스 매개변수는.. 2023. 4. 11. Fourier Theorim Simple waves overlap to create complex waves. This is a phenomenon applicable to all waves, and actual waveforms such as seismic waves, sound waves, light, and radio waves are actually very complex, but simple waveforms can be analyzed as a basis. 1. Fourier Series 푸리에 급수는 열의 전달 방식에 대한 연구에서 발견되었다. "어떤 함수이든 다양한 sin 함수와 cos 함수를 무한히 더한 식으로 나타낼 수 있다 라는 발견이다. sin과 cos을 무한히 더한 식을 지금 푸리에 급수라고 부른다. 하기 예.. 2023. 1. 21. 이전 1 ··· 3 4 5 6 7 다음 728x90
