728x90 3. OPTICAL PROXIMITY CORRECTION TECH28 SOCS (Sum Of Coherent System) Sum of Coherent System, 일명 SOCS라고도 불리는 이 방식은 partially coherent iamge를 더 효과적이며 빠르게 계산할 수 있게 하는 방법론 입니다. TCC를 이용하여 hopkins image equation 구성하면 이 식은 모든 source에 관련된 계산은 이미 TCC matrix를 계산할 때 수행되었기 때문에 Abbe equation보다는 효과적입니다. 예를 들어 source의 point가 1000개라면 Abbe equation을 따를 경우 muliti point로 coherent image를 1000번 계산을 해서 모두 합해줘야 하지만, Hopkins equation을 할 경우엔 point source로 보고 한번 TCC를 계산해 놓으면 다시 반복 계산을 할 필.. 2023. 4. 13. Importance of DTCO DTCO stands for Design Technology Co-Optimization, which is a methodology used in semiconductor manufacturing to optimize the design of integrated circuits (ICs) along with the technology used to fabricate them. Traditionally, the design and technology aspects of IC development have been developed independently. However, as ICs become smaller and more complex, this approach has become increasing.. 2023. 4. 13. OPC work flow what is OPC? Optical Proximity Correction (OPC) is a process used in the semiconductor industry to improve the accuracy of photolithography in the manufacturing of integrated circuits. The OPC workflow typically involves the following steps:Layout Design: The first step is to create a layout design of the integrated circuit using computer-aided design (CAD) tools. Simulation: The layout design .. 2023. 4. 13. Source Mask Optimization flow SMO(소스 마스크 최적화)는 포토마스크에서 기판으로 패턴을 전사하는 프로세스를 최적화하기 위해 반도체 리소그래피에 사용되는 기술입니다. SMO의 목표는 소스와 마스크를 별도로 최적화하는 것이 아니라 동시에 최적화하여 패턴의 이미지 품질을 향상시키는 것입니다. 전통적인 리소그래피에서는 포토마스크와 조명 광원이 별도로 설계되었습니다. 마스크는 특정 패턴으로 설계되고 소스는 기판에 원하는 패턴을 생성하도록 최적화됩니다. 그러나 이 접근 방식은 마스크와 소스 설계의 한계로 인해 항상 원하는 결과를 얻지 못할 수도 있습니다. SMO에서는 마스크와 소스가 함께 최적화되어 최상의 이미지를 생성합니다. 이는 원하는 패턴을 얻을 때까지 마스크와 소스 매개변수를 반복적으로 수정하여 수행됩니다. 마스크 및 소스 매개변수는.. 2023. 4. 11. Fourier Theorim Simple waves overlap to create complex waves. This is a phenomenon applicable to all waves, and actual waveforms such as seismic waves, sound waves, light, and radio waves are actually very complex, but simple waveforms can be analyzed as a basis. 1. Fourier Series 푸리에 급수는 열의 전달 방식에 대한 연구에서 발견되었다. "어떤 함수이든 다양한 sin 함수와 cos 함수를 무한히 더한 식으로 나타낼 수 있다 라는 발견이다. sin과 cos을 무한히 더한 식을 지금 푸리에 급수라고 부른다. 하기 예.. 2023. 1. 21. interference * interference The overlapping of several waves to create or cancel new waves is called interference. The conditions for interference to occur must be coherent. In Young's double-slit experiment, interference fringes appear, showing constructive interference (bright parts) and destructive interference (dark parts). What matters is the presence of a single slit placed in front of the double slit(.. 2023. 1. 20. Diffraction & Refraction * Diffraction Diffraction is a phenomenon in which a wave spreads from the end of a small gap or returns to the shadow of an obstacle. Huygens principle is the principle that countless spherical waves are generated at each wavefront point, and the wavefront of the next moment is created by overlapping the countless spherical waves. When the slit width is greater than the wavelength, the diffract.. 2023. 1. 20. Maxwell's Equation Maxwell's equations may be combined to demonstrate how fluctuations in electromagnetic fields (waves) propagate at a constant speed in vacuum, c (299,792,458 m/s) Typically, the wave equation of an electromagnetic wave can be expressed as a combination of the following four equations. Maxwell's equations are a set of four partial differential equations that describe the behavior of electromagnet.. 2023. 1. 20. 이전 1 2 3 다음 728x90
