본문 바로가기
728x90

semiconductor, OPC65

Polarization 편광의 영향성 Polarization 편광은 전자기파가 진행할 때 파를 구성하는 전기장이나 자기장이 특정한 방향으로 진동하는 현상을 말합니다. 일반적인 의미의 전자기파는 모든 방향으로 진동하는 빛이 혼합된 상태를 말하지만, 특정한 광물질이나 광학필터를 사용해 편광 된 상태의 빛을 얻을 수 있습니다. 노광 설비에서 NA가 커질수록 image에 미치는 편광 효과가 커지게 됩니다. 이 편광 효과로 인해서 patterning quality가 달라질 수 있습니다. TE mode는 pattern의 방향과 입사하는 빛의 편광 방향이 평행한 방향으로 입사한 빛의 전기장의 방향이 일치하기 때문에 pattern fideltiy가 좋아집니다. 그러나, TM mode의 경우 pattern의 방향과 입사하는 빛의 방향이 수직이기 때문에 입사.. 2023. 7. 11.
분산, 표준 편차와 비율의 표준 편차 1. 분산 : 데이터의 흩어진 정도를 계산하는 지표로 평균에 대한 편차의 제곱의 평균을 구한 값이다. excel 함수로는 = VAR.P(num1, num2, num3, ...) 식으로 사용한다. 2. 표준 편차 : 데이터 편차의 크기를 보고 싶을 때 구하는 수치로 평균값을 기준으로 플러스 구간과 마이너스 구간에 데이터가 얼마나 퍼져있는지 알고 싶을 때 계산한다. 최소값은 0이고, 데이터가 퍼질 수록 값이 커진다. 계산법으로는 분산 값의 제곱근으로 구한다. excel 함수로는 = stdev(num1, num2, num3, ...) 식으로 사용한다. 3. 비율(1,0)의 표준 편차 : 설문조사에서 예, 아니오와 같은 수치로 나타낼 수 없는 범주형 데이터, 이항형 데이터에 대한 편차의 크기를 알고 싶을 때 계.. 2023. 7. 9.
평균(산술, 기하, 조화)과 중앙값(median) * 산술 평균 : 일상에서 많이 쓰는 평균으로, 데이터 값을 모두 더한 뒤 데이터 갯수로 나눠주어 산출하는 평균이다. excel 함수로는 = average(num1, num2, num3, ...) 식으로 사용한다. * 기하 평균 : 변화율의 평균값을 구할 때 사용한다. 연도별 매출 평균 상승율이나 매월 평균 매출 변화율을 구할 때 사용한다. 기하 평균은 곱의 평균이기 때문에 모든 인수를 곱해서 인수 갯수의 제곱근을 취하는 방식으로 구한다. 데이터 n 개 있으면 n 개를 곱한 뒤 n의 제곱근을 취해주면 된다. excel 함수로는 = geomean(num1, num2, num3, ...) 식으로 사용한다. * 조화 평균 : 데이터의 역수의 산술평균을 구하고 다시 그 역수를 취한 것을 조화 평균이라고 한다. .. 2023. 7. 8.
OPC Modeling flow 공정 수준과 Data 거동을 그대로 모사하는 것을 modeling이라고 합니다. OPC modeling은 포토 공정의 CD data의 거동을 그대로 흉내 내어 광근접 보정 효과를 입혀서 원하는 ADI 혹은 ACI target을 얻는 모델링입니다. 같은 공정 같은 layer라고 하더라도 각 공장 site마다 공정 CD 거동이 다를 수 있으므로 site별로 OPC model 제작이 필요합니다. OPC modeling 절차에 대해서 알아보겠습니다. 1. Sampling Plan : 제품의 Design Rule을 바탕으로 min pitch, min ISO space/width, SRAM, patterning weak point들을 Modeling Photo mask에서 추출합니다. 그리고 제품 DB와 현재 추출.. 2023. 7. 7.
Resolution & DOF 반도체 기술이 발전함에 따라 chip scaling은 점점 줄어들게 되었습니다. 같은 공정 단가에 chip size를 줄이게 되면 더 많은 chip을 생산할 수 있게 되고 수율 측면에서도 이득이 있기 때문입니다. 그러다 보니 chip 내 들어가는 pattern size도 같이 줄어들게 되었습니다. 그래서 반도체에서는 최대한 작게 만드는 것이 효율적인 생산을 할 수 있습니다. 상기 표를 보시면 시간이 흐름에 따라 노광 설비에 대한 발전이 이뤄지고 그에 따라 chip에 존재하는 가장 작은 size의 pattern 인 Resolution pattern size도 함께 줄어들었습니다. 여기서 흥미로운 점은 Flash, DRAM, Logic 제품군 간에 Resolution pattern size의 shrink 되.. 2023. 7. 6.
OPC Error = Model Error + Edge Placement Error 공정 상 발생할 수 있는 측정 오차와 Photo mask CD error 및 포토 설비에서 발생한 CD error는 없다고 가정한 상태에서 OPC Error를 정의할 수 있습니다. OPC Error는 Model Error와 Edge Placement Error가 합쳐진 상태로 정의할 수 있습니다. 우선 OPC Model error는 OPC model의 잘못된 예측으로 발생한 ADI Contour CD - Measure CD = Model Error라고 할 수 있습니다. Model Error가 발생하면 예측력이 떨어지게 된 pattern에 대한 modeling sample을 보강하여 model re-calibration을 진행하거나, Model pattern variaty가 낮은 pattern의 경우, E.. 2023. 7. 5.
엔드 오브 타임 part8 [본능과 창조력 : 신성함에서 숭고함으로] 브라이언 그린이 말하는 세상의 시작과 진화 그리고 끝 8. 본능과 창조력 : 신성함에서 숭고함으로 1824년 5월 7일, 비엔나의 케른트너토르 극장 중앙 무대에 루트비히 판 베토벤이 등장해서 자신의 9번째이자 마지막 교향곡을 연주했다. 그가 무대에 서본 지도 어언 12년이 흐른 시점이었다. 교향악단의 제1바이올리니스트였던 요제프 뵘은 이날 베토벤을 다음과 같이 묘사했다. "지휘대에 오른 그는 거의 미친 사람 같았다. 숨을 한껏 들이마시며 몸을 있는 대로 뻗었다가 곧바로 바닥에 엎어질 듯이 웅크리기를 수없이 반복했다. 마치 모든 악기를 그가 직접 연주하고 모든 노래를 혼자 부르는 것처럼, 시종일관 팔과 다리를 정신없이 흔들었다." 사실 얼마전 부터 베토벤은 이명증이 심해 짐승이 으르렁 거리는 소리가 수시로.. 2023. 7. 4.
엔드 오브 타임 part7 [두뇌와 믿음 : 상상에서 신성으로] 브라이언 그린이 말하는 세상의 시작과 진화 그리고 끝 7. 두뇌와 믿음 : 상상에서 신성으로 인류는 지능이 높아지면서 바깥 세계를 탐험하고 이해하려는 욕구가 강해졌고, 경험이 쌓여가면서 모든 경험에 의미를 부여하기 시작했다. 또한 우리 선조들은 생존을 위해 새로운 기술을 개발해야만 했다. 그들은 돌과 청동, 그리고 철을 다루는 법을 알아야 했고, 사냥, 집단생활, 농사를 배워야 했다. 그러나 생존 기술을 익히는 와중에도 그들은 지금 우리처럼 만물의 기원과 의미, 그리고 존재의 목적을 알아내려고 노력했다. 물론 생존도 중요하지만, 자연에서 생존하려면 생존이 왜 중요한지를 알아야 한다. 그래서 기술을 개발하던 사람들은 필연적으로 철학자가 되었고 과학자가 되었으며, 신학자, 작가, 작곡가, 음악가, 예술가, .. 2023. 7. 1.
엔드 오브 타임 part6 [언어와 이야기 : 마음에서 상상으로] 브라이언 그린이 말하는 세상의 시작과 진화 그리고 끝 6. 언어와 이야기 : 마음에서 상상으로 경험의 핵심 키워드는 패턴이다. 인류가 생존할 수 있었던 것은 규칙적으로 반복되는 세상사를 느끼고 적절하게 반응해왔기 때문이다. 내일은 오늘과 분명 다르겠지만 끊임없이 오고가는 무수한 일상 중에는 변함없이 유지되는 것도 있다. 일상생활 속에서 주기적으로 반복되는 패턴은 우리의 행동에 지대한 영향을 미친다. 본능과 기억이 중요한 것은 바로 이런 이유 때문이다. 대부분의 패턴은 수학으로 표현이 가능하다. 약간의 기호만 도입하면 패턴을 간략하면서도 정확하게 표현할 수 있다. 수학은 인간이 자연의 패턴을 서술하기 위해 개발한 또 하나의 언어일까? 아니면 수학 자체가 현실의 원천이어서 자연의 패턴이 자연스럽게 수학적으로.. 2023. 6. 28.
당뇨병을 고치며 건강해지는 법(간헐적 단식) 당뇨병은 췌장에서 인슐린 분비가 적거나, 인슐린이 정상 기능을 하지 못해서 혈중 포도당 농도가 높아져 고혈당으로 여러가지 증세가 나타나는 병을 말합니다. 당뇨병은 제1형 당뇨병과 제2형 당뇨병이 있는데 제1형 당뇨병은 소아에게서 발생하므로 소아 당뇨병이라고도 부르며 자가면역질환으로 인체의 면역체계가 췌장의 인슐린 분비 세포를 손상시킨다는 뜻입니다. 즉, 인슐린 분비가 적은 것이 문제입니다. 우리가 알아볼 당뇨병은 식생활이 서구화 됨에 따라 고열량, 고지방, 고단백, 스트레스, 운동부족으로 발생하는 제2형 당뇨병입니다. 제2형 당뇨병(이하 당뇨병)은 인슐린 저항성으로 혈당을 낮추는 인슐린의 기능이 떨어져서 세포 안에 포도당이 효과적으로 들어가지 못하는 것이 특징입니다. 인슐린 저항성으로 인해서 고혈당인 상.. 2023. 6. 27.
728x90